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EDWARDS復合渦輪分子泵

簡要描述:BOC Edwards EXT泵適用于除zui苛刻的半導體應用和科學應用(這些領域可使用STP系列泵)以外的任何領域。EXT系列一般使用球形氮化硅陶瓷軸承和磁懸浮軸承的組合形式。陶瓷軸承與傳統軸承相比具有更輕、更硬和更平穩的優點,以及壽命長、小振動的優點。由于軸承滾珠和軸承座使用了不同材料,防止了微小凹陷而提高可靠性。

  • 產品型號:EXT406PX
  • 廠商性質:代理商
  • 更新時間:2026-03-31
  • 訪  問  量:6045
  • 產品資料:

詳細介紹

品牌Edwards/愛德華產地進口
加工定制

BOC Edwards EXT406PX泵

性能特點

真空系統簡單

* 可以選用較小的前級泵。

* 降低真空系統體積與功耗。

* 前級壓力在8mbar就可啟動,入口負載可達2E-3 。

* 前級壓力在8mbar就可啟動,入口負載可達2E-3 。

* 前級壓力為17mbar時,還可維持正常轉速。

非常適合于與隔膜泵聯用,特別適用于抽H2。

兼容24v DC Edwards TIC渦輪控制器或渦輪儀表控制器。

* 也可使用用戶自己的24V DC電源。

技術數據


入口法蘭          DN100ISO-K、DN100CF、DN160ISO-K、DN160CF

壓縮比

N2

>1 x 10E11

He

1 x 10E6

出口法蘭(前級泵口)

DN25NW

前級泵(推薦)

XDS10或RV12(或其它更小的,依應用而定)

放氣口

1/8 inch BSP

吹掃凈化口

1/8 inch BSP

zui高入口壓力(空氣) *



水冷(水溫15°C,大氣溫度40°C)

0.008mbar


空冷(大氣溫度35°C)

0.012mbar

額定轉速

60000 rpm

轉速達到90%所需時間 **

285 s

冷卻方式

空冷/水冷

大氣溫度(空冷)

5-35 °C

冷卻水zui低流速(水溫15 °C)

15 l/h

水溫范圍

10-20 °C

入口法蘭zui高溫度

100 °C

工作姿態

垂直

噪音(1m處)

<45 dB(A)

zui大磁場

5 mT

靜止功耗

25~40 W

EXT406PX渦輪分子泵安裝尺寸

A EXDC控制器

B 前級泵口

C 羅茨泵口

D 吹掃凈化口

E 放氣口

F 接地


EXT406PX渦輪分子泵特性曲線


訂貨信息


描述

貨號

EXT406PX 復合渦輪分子泵 DN100ISO入口法蘭

B760-31-991

EXT406PX 復合渦輪分子泵 DN100CF入口法蘭

B760-32-991

EXT406PX 復合渦輪分子泵 DN160ISO入口法蘭

B760-41-991

EXT406PX 復合渦輪分子泵 DN160CF入口法蘭

B760-42-991

EXDC160 24 V

D396-46-000
























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